防微振研究及應用
防微(wei)振研究(jiu)及應用
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隨著產業技(ji)術向精密化和(he)微(wei)細化的(de)發展(zhan)，其對控制(zhi)微(wei)米級的(de)微(wei)小振動而采取防(fang)微(wei)振措(cuo)施提出了更高的(de)要求。為達(da)到預期(qi)的(de)防(fang)微(wei)振目(mu)標(biao)，從廠址的(de)宏觀選擇，場地(di)的(de)測試(shi)，總圖布置，工(gong)藝設備布置，Tool的(de)要求和(he)特(te)點(dian)，結(jie)構方(fang)案(an)(an)，支持設備，基座平臺等方(fang)面都(dou)應進行防(fang)微(wei)振方(fang)面的(de)考(kao)量。世源公司已實施了多個項目(mu)的(de)從“結(jie)構防(fang)微(wei)振方(fang)案(an)(an)制(zhi)定”、“設備防(fang)微(wei)振機(ji)臺設計”到“整個防(fang)微(wei)振系(xi)統(tong)的(de)安裝”的(de)全過(guo)程(cheng)服務，達(da)到良好效果(guo)，滿足(zu)工(gong)藝生產良品率的(de)需求。
IC/TFT-LCD廠(chang)房防微振設計平臺建設研(yan)究及應用(yong)
完成時間：2011.06
課題簡介：本項(xiang)目(mu)對(dui)以(yi)往IC/TFT—LCD項(xiang)目(mu)的結(jie)(jie)構(gou)特行(xing)進行(xing)總結(jie)(jie)，分析其剛度、動力特性等(deng)，并(bing)實地(di)測量相應項(xiang)目(mu)的微(wei)振技術(shu)參數，最終提出(chu)針(zhen)對(dui)性的結(jie)(jie)構(gou)設(she)計(ji)方案(an)及(ji)精密設(she)備基座平臺的方案(an)，完(wan)善(shan)“15240微(wei)振技術(shu)規格書”及(ji)其有關計(ji)算方法。通(tong)過研究(jiu)使高科技廠房的防(fang)微(wei)振設(she)計(ji)具有實用性和系統化。