超高世代TCT-LCD生產線設計技術
超高世代TFT-LCD生(sheng)產線設(she)計技術
世(shi)源科技(ji)工程(cheng)有限(xian)(xian)公(gong)司與(yu)中(zhong)國電子(zi)工程(cheng)設(she)計院(yuan)有限(xian)(xian)公(gong)司及中(zhong)建(jian)一局集團建(jian)設(she)發展(zhan)有限(xian)(xian)公(gong)司共同完成“超(chao)高世(shi)代（10代以上）TFT-LCD生產線設(she)計關鍵技(ji)術研究與(yu)產業(ye)化(hua)”研究成果。
研究(jiu)成果形成多項10代以上TFT-LCD生產(chan)線(xian)設計(ji)的關鍵技(ji)術創新：
創新點(dian)1：提(ti)出(chu)了具有完全自主知識產(chan)權的超高世代TFT-LCD顯示器件生產(chan)線(xian)工藝仿真及組(zu)線(xian)技術
? ? ? ? 優化(hua)了(le)工藝生(sheng)產流(liu)程、設(she)備布局、縮短物(wu)流(liu)傳(chuan)送(song)距離；
? ? ? ? 使生產線從點亮(liang)到量產僅需6個月(yue)，產品良率迅速完成穩(wen)定在(zai)92%以(yi)上，創造平(ping)板顯示產業(ye)速度和良率水平(ping)。
? ? ? ? 平均節約項目建設(she)(she)安(an)裝（不含工(gong)藝設(she)(she)備）17%的(de)投資；
? ? ? ? 節省TFT-LCD工廠中潔凈(jing)室面積20%。
創新點(dian)2：首(shou)創建立了“高世代TFT-LCD生產(chan)線納米級防微振控制技術體系” ?
?? ? ? 提出(chu)了(le)基于“原位測試(shi)+仿真(zhen)分(fen)析+實驗驗證”的微振動控(kong)制設計方法(fa)；
?? ? ? 自(zi)研場(chang)地(di)微振動測試數據庫，微振動分析模(mo)型。
?? ? ? 提出了(le)精密儀器設備的(de)微振(zhen)動控制方法，發明了(le)多種(zhong)型(xing)號防(fang)微振(zhen)基(ji)臺。
創新(xin)點3：超大面積(ji)潔凈環(huan)境控制技(ji)術+超高潔凈度微(wei)環(huan)境控制技(ji)術
?? ? ? 建立了超大潔凈廠房CFD氣流(liu)仿真模擬(ni)技(ji)術；
?? ? ? 研發了凈化空調系統溫水(shui)淋水(shui)加濕空氣處(chu)理技術；
?? ? ? 保障超大(da)面積（40萬㎡）潔凈室(shi)的超高溫(wen)濕度(du)(du)(du)精(jing)度(du)(du)(du)（溫(wen)度(du)(du)(du)控(kong)(kong)制精(jing)度(du)(du)(du)23℃±1℃、相對濕度(du)(du)(du)控(kong)(kong)制精(jing)度(du)(du)(du)55%±3%）控(kong)(kong)制要求。
創(chuang)新點(dian)4：TFT-LCD廠房極端(duan)超長的鋼筋混凝土結構裂縫(feng)控制(zhi)技術
?? ? ? 通過選材(cai)、設計及施(shi)工控制的綜合(he)措(cuo)施(shi)，解決了(le)鋼筋混凝土框排(pai)架廠房的極端超長（550m）無(wu)伸(shen)縮縫結(jie)構的裂縫控制技術(shu)。
?? ? ? 突破了《混凝土結構設計規范》關于室內伸縮縫最(zui)大(da)間距55m的要求。
創新點5：研發了高(gao)精(jing)度、高(gao)品質超(chao)純水制備系統(tong)
?? ? ? 首創制訂(ding)出適用第10.5代TFT-LCD的超純(chun)水水質指標標準，并準確定(ding)義各指標參數。
?? ? ? 研(yan)發10.5代TFT-LCD生(sheng)產(chan)線(xian)超純水(shui)最佳處理工(gong)藝流程；
?? ? ? 提出超純(chun)水(shui)制備的(de)梯級處理系統(tong)，實現節能(neng)超過20%；
?? ? ? 工藝冷卻循環水系統中確定閉式系統，節能(neng)超過35%；
?? ? ? 首創提出超純水30%~40%循(xun)環附加量的(de)最(zui)佳實(shi)踐；
?? ? ? 提出超純水供水管網必須(xu)設置三管式同程管網的要求。
創新點6：提(ti)出“物(wu)化(hua)+水(shui)解酸(suan)化(hua)+生物(wu)處理(li)+RO”組(zu)合方(fang)式的電子含氟/堿/酸(suan)廢水(shui)處理(li)技術
?? ? ? 提出“物化+水解(jie)酸化+生(sheng)物處理+RO”組(zu)合方(fang)式的電子含氟/堿/酸/有機(ji)廢水處理技(ji)術。
?? ? ? 通(tong)過設置不同的(de)(de)處置流程，控制藥劑劑量等(deng)方式，實(shi)現TFT-LCD廢水的(de)(de)清污(wu)分流；
?? ? ? 回收(shou)水(shui)(shui)系統按照TOC濃度，采用(yong)多種(zhong)處理手段，回用(yong)于超純水(shui)(shui)系統或中水(shui)(shui)系統，綜合回用(yong)率可達到70%。
創新(xin)點(dian)7：基于產(chan)品(pin)工(gong)藝(yi)流(liu)程的產(chan)品(pin)制造(zao)和工(gong)廠建造(zao)高效節(jie)能(neng)技術
?? ? ? 4次(ci)光刻技(ji)術，可以縮短工藝時間，降低生產成本，減少原(yuan)材料消耗，并(bing)使設(she)備(bei)利用率顯著(zhu)提高，減少設(she)備(bei)投資(zi)，或(huo)在(zai)設(she)備(bei)配置相同(tong)的情況下提高產能約20%。
?? ? ? 噴墨(mo)打印(yin)技術，與傳統的旋(xuan)轉涂布技術相比(bi)，節省60%以上(shang)的材料(liao)，同時減(jian)少工藝步驟和(he)節省能耗(hao)。
?? ? ? 用純(chun)水替代異丙醇清洗技術(shu)，有效減少(shao)化學(xue)品使用及(ji)污染(ran)物的排放；
?? ? ? 傾斜式清洗技術(shu)，使積存在基板表面的藥液量(liang)降(jiang)低40%，所排放的廢水濃度和純水使用(yong)量(liang)都(dou)相應降(jiang)低。